Vorteile kapazitiv-keramischer Drucksensoren in der Vakuumtechnik

7. August 2019, 00:00 Uhr
Kapazitiv-keramische Sensoren für Vakuumanwendungen.
 
Kapazitiv-keramische Sensoren für Vakuumanwendungen.
 
Die Qualität von industriellen Prozessen hängt oft von der exakten Messung des Vakuums hängt ab. Keramische Drucksensoren bieten hier vorteilhafte Eigenschaften im Vergleich zu Metallsensoren.
Die Unterschiede zu piezoresistiven Sensoren beginnen bereits bei der Membran. Stahlmembranen sind mit ihrer Stärke von 50 µm sehr empfindlich gegenüber mechanischer Krafteinwirkung. Keramikmembranen weisen mindestens die zehnfache Stärke und mehr auf, je nach Messbereich. Das macht sie deutlich robuster gegenüber mechanischen Einflüssen. Darüber hinaus besitzt der Werkstoff Keramik günstigere Elastizitätseigenschaften als Stahl.
Im Gegensatz zu metallischen Werkstoffen ist Keramik bis kurz vorm Bruchpunkt stabil und kehrt nach Entlastung immer wieder in seine Ursprungslage zurück. Dadurch kommt es nach einer Überlast zu keinen Deformierungen der Membran und damit einhergehenden Nullpunktverschiebungen.
Ein weiterer positiver Aspekt liegt in der Fügung der eingesetzten Werkstoffe durch einen Aktivlotring mit demselben Ausdehnungskoeffizienten wie die Keramik. Dies hat einen positiven Einfluss auf die Langzeitstabilität des Referenzvakuums im Inneren des Sensors.
Durch das trockene Messsystem besteht zudem keine Gefahr durch Kontamination für Produkt und Anlage, falls es zu einem Defekt der Membran kommen sollte.
Die keramischen Ceracore Drucksensoren von Endress+Hauser bieten durch ihre Bauweise beste Voraussetzungen für den Einsatz in Vakuumanwendungen. Sie können individuell angepasst werden, weisen eine 40-fache Überlastfestigkeit auf und sind unempfindlich gegenüber korrosiven und abrasiven Medien.
www.sensoren-komponenten.endress.com
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