Winziger Spektrometer-Sensor für sichtbares Licht

10. Dezember 2013, 14:36 Uhr
Winziger Spektrometer-Sensor für sichtbares Licht
Winziger Spektrometer-Sensor für sichtbares Licht

Das Modul C10988MA-01 von Hamamatsu Photonics ist ein sehr kompakter Spektrometer-Sensor auf der Basis von MOEMS-Technik (Mikro-Opto-Elektro-Mechanik). Mit den Abmessungen von 27,6 x 13 x 16,8 mm und einem Gewicht von nur 9 g lassen sich damit kleine Hand-Held-Geräte für Szenarien bauen, wo konventionelle Mini-Spektrometer zu groß wären und zu viel Energie benötigen würden.
 
Der neue Sensor ist mit einem aberrationskorrigierten konkaven Beugungsgitter mit kurzer fokaler Länge und hoher Brechungswirkung versehen. Das Gitter wurde mit Hilfe von Nanodrucktechnik auf einer konvexen Linse repliziert. Direkt gegenüber dem Gitter sitzt ein CMOS-Bildsensor mit On-Chip-Schlitz. Dieser Schlitz misst 75 x 750 µm und wurde mit MEMS-Technik auf den Chip aufgebracht. Der Abstand zwischen Sensor und Schlitz beträgt nur 1 mm. Der Abstand zwischen Gitter und Bildsensor liegt bei etwa 8,5 mm. Durch diesen Aufbau lässt sich eine spektrale Auflösung von 14 nm im Wellenlängenbereich von 340...750 nm realisieren, was diese Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen im Bereich sichtbaren Lichts prädestiniert.

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