Mitglied werden!

Glen Fitzpatrick (1)

Oberflächenmikrobearbeitung für MEMS-Systeme

Oberflächenmikrobearbeitung für MEMS-Systeme

Von Shailja Tewari

| Oberflächen-Mikrobearbeitungstechniken ermöglichen die Herstellung von hochzuverlässigen, robusten mikroelektromechanischen Systemen (MEMS),...