Oberflächen-Mikrobearbeitungstechniken ermöglichen die Herstellung von hochzuverlässigen, robusten mikroelektromechanischen Systemen (MEMS), mit denen Ingenieure zusammen mit Mikrocontrollern innovative Produkte der nächsten Generation entwickeln können. In diesem Artikel gibt Micralyne einen Überblick über MEMS-Fertigungsprozesse und -techniken in der Oberflächenmikrobearbeitung.